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氟化氢作为一种重要的高附加值氟化工产品,用途非常广泛,在国民经济中发挥着越来越重要的作用。氟化氢的制备方法主要分为萤石法和氟硅酸法,氟硅酸法包括氟化盐中间法,硫酸分解氟硅酸制取氟化氢和氟硅酸热分解制取氟化氢等方法的原理。

氟化氢的提纯

HF经纯化后制备的电子级氢氟酸是微电子行业的关键化工材料,在薄膜液晶显示器、集成电路和半导体等行业中用于清洗和腐蚀芯片，且可作为分析试剂及生产含氟的高纯化学品。产品的纯度、洁净度直接影响集成电路的电性能、合格率和可靠性,关键要控制碱、重金属及非金属等离子杂质的含量。目前,国内外采用的提纯技术主要为精馏、蒸馏、亚沸蒸馏,减压蒸馏及气体吸收等,不同的提纯方法及特点见表1。

一般综合利用蒸馏、化学处理、气体吸收、颗粒控制及亚沸蒸馏等多种方法来制备超高纯氢氟酸，满足各项技术指标。蒸馏设备还需考虑高温下材质的抗腐蚀性,一般用金、铂、银等或聚四氟乙烯制造。此外,生产装置的设计取决于工艺流程的布置,利用物料自然向下流动的垂直布置能够在中部制备高纯氢氟酸,底部过滤产品、罐装及贮存,能减少泵的输送,节约能量并降低成本,避免二次污染。电子级氢氟酸的生产流程:经过化学预处理的工业无水氢氟酸送入精馏塔进行精馏得到HF气体;冷却HF并送人吸收塔,吸收用超纯水,任液比与喷淋密度继续纯化电子级氢氟酸。

  氟化氢蒸馏装置图

此装置为PFA或聚四氟乙烯材质，耐受氢氟酸等强酸强碱，主要针对含氢氟酸，氟化氢的制备与纯化实验