PE100 PE100等离子处理机
产品简介
详细信息
美国产Plasma Cleaning System
PE-100实验室等离子表面处理机
PE公司成立于1980年，致力于提供电子行业用的等离子设备及相关服务。通过几十年的发展，公司发展成为提供等离子设备方面的专家，可为客户提供专业的产品和解决方案，先后众多企业提供等离子处理设备：美国宇航局NASA, 美国波音Boeing，*的电子保安系统产品制造商美国霍尼韦尔Honeywell,美国摩托罗拉Moto, 德国拜耳Bayer，世界飞机的企业美国洛克希德马丁Lockheed-Martin等等。
PE公司介绍
PE100等离子处理机是一款集综合功能于一身的重量级产品。既可以应用于大学，科学研究机构，又能在工业级应用领域针对于小批量生产发挥强大作用。
PE100等离子处理机产品特点：
1. 体积小，配备小型真空泵，无需占用很大空间，可以放置在任何实验台上。
2. 性能可靠，“度量”宽大。真空腔体采用T6061经过特殊处理的航空铝合金材料无缝焊接，有效处理面积达到约229mm*330mm.间距76mm(3层电极)可以轻松将大部分实验样品放入真空腔体内并实现小批量生产。
3. 配置灵活,PE-100拥有灵活多变的参数配置组合，能够胜任使用者的不同需求。除了配置不同的频率（100~460KHz，13.56MHz）,不同的频率段，还提供不同的功率以供用户选择。在控制系统上，也配置了面板控制和更精准的全数字电脑控制，以满足用户的使用要求。
4. 可以配置*的过程控制的温控电极与RIE反应性等离子体处理系统。
5. 操作简便.设备的安装非常简单，工厂还提供详尽的说明和相应的管道等配件。面板的操作部分，在设计中做到尽可能简单和避免误操作。一般操作人员在极短的时间内就可以熟练操作，甚至只需要几分钟就可掌握。
6. 安全保障：在小型设备中，*引入一键急停保护按钮，当参数设置有误而设备已经启动的时候，可以快速终止实验，以zui小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。
PE100等离子处理机参数：
外部尺寸 | 432mm* 711mm*762mm 重量：73Kg |
真空腔材质 | 耐用的焊接6061 T6铝合金真空腔 |
真空腔尺寸 | 约305mm宽*356mm深*305mm高 |
电极尺寸 | 约229mm*330mm.间距76mm(3层电极) |
等离子发生器 | 300 W @ 100-460 KHz（可选配13.56MHz） |
供气 | 质量流量控制器: O-50cc （连续可调） |
压力测量 | Pirini真空计：0-1Torr |
控制器 | 基于WINDOWS操作系统的控制系统 |
安全保障 | 一键急停按钮 |
电源 | 220VAC，14A |
PE100等离子处理机附件（可选件）
抽气装置：*型号：6.5 CFM 2级 直驱真空油泵
300w, 13.56Mhz可自动调节射频发生器
一层电极
温控电极
RIE反应性电极
可控速率氮气自动吹扫装置
静电屏蔽装置
样品处理实例：LED灯基片 处理前后对比