TFMS-LD是一款反射光谱薄膜测厚仪，可快速精确地测量透明或半透明薄膜的厚度，其测量膜厚范围为15nm-50um，仪器所发出测试光的波长范围为400nm-1100nm。此款测试系统理论基础为镜面反射率，并且采用光纤反射探头。仪器尺寸小巧，方便于在实验室中摆放和使用。
技术参数
测量膜厚范围 | 15nm-50um |
光谱波长 | 400 nm - 1100 nm |
主要测量透明或半透明薄膜厚度 | - 氧化物
- 氮化物
- 光刻胶
- 半导体（硅，单晶硅，多晶硅等）
- 半导体化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等）
- 硬涂层（碳化硅，类金刚石炭）
- 聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
- 金属膜（点击图片可查看详细资料）
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特点 | - 测量和数据分析同时进行，可测量单层膜，多层膜，无基底和非均匀膜
- 包含了500多种材料的光学常数，新材料参数也可很容易地添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
- 体积较小，方便摆放和操作
- 可测量薄膜厚度，材料光学常数和表面粗糙度
- 使用电脑操作，界面中点击，即可进行测量和分析
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精度 | 0.01nm或0.01% |
准确度 | 0.2%或1nm |
稳定性 | 0.02nm或0.02% |
光斑尺寸 | 标准3mm,可以小至3um |
要求样品大小 | 大于1mm |
分光仪/检测器 | - 400 - 1100 nm 波长范围
- 光谱分辨率: < 1 nm
- 电源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W
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光源 | - 5W的钨卤素灯
- 色温：2800K
- 使用寿命:1000小时
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反射探针 | - 光学纤维探针，400um纤维芯
- 配有分光仪和光源支架
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载样台 | 测量时用于放置测量的样品
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通讯接口 | USB接口，方便与电脑对接 |
TFCompanion软件 | - 强大的数据库包含两500多种材料的光学常数（n：折射率，K：消失系数）
- 误差分析和模拟系统，保证在不同环境下对样品测量的准确性
- 可分析简单和复杂的膜系
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设备尺寸 | 200x250x100mm |
重量 | 4.5kg |
