TM106-LD 薄膜测厚/层积速率显示仪
产品简介
详细信息
TM106-LD薄膜测厚仪/层积速率显示仪的工作原理，是依据所测样品薄膜厚度的改变而导致石英晶片振荡频率改变。将所蒸发材料的密度输入到测试系统中，便可测量层积薄膜的厚度。此款测厚仪的分辨率为0.037 Å。
技术参数
功率 | 400 mA, 5V (dc) |
测试频率范围 | 6.0 - 5.0 MHz |
频率分辨率 | +/- 0.03 Hz @ 6 MHz |
测量区间 | 0.10s |
参考频率稳定性 | +/- 2 ppm |
厚度和速率分辨率 | +/- 0.037Å 基频=6MHz |
厚度显示分辨率 | 1 Å |
尺寸 | 11.4 x 7.6 x 2.5 cm |
重量 | 57g |
操作系统 | Windows 8, Windows 7, Windows Vista, Windows XP, 或Windows 2000 |
晶体探针架 |
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软件 | 包括STM-2软件 |
可选石英晶体 |
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安装 | |
质保期 | 一年质保期，终身维护 |
应用 |
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