VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型)，基片zui大尺寸2英寸，加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料，金靶，银，铜, 它可以与真空泵，不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.
技术参数
输入功率 | - 110V / 220V 通用
- < 2000W (含真空泵)
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输出功率 | |
样品室 | 石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height |
样品台
 | - 一个外径50 mm 的样品台, 基片可以放在样品台上，可以移动三个位置
- 可选购加热型样品台（zui高温度可到500℃）
- zui长溅射时间不可超过5分钟
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控制面板
| - 控制面板为PLC，4.3" 触摸屏
- 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置和基片加热温度
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真空泵（选配）
| - VRD-8 120L/M旋片式真空泵（选配）
- KF25 真空接口、卡箍，和600mm长不锈钢波纹管
- 不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接
- 各种高纯度金属靶
- 需要一个带压力调节器的氩气瓶 （这个我们不提供）
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进气口 | 一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量 |
靶材
| - 要求安装靶材的尺寸：直径Φ47mm,厚度0.5-3mm
- 经试验证明此款仪器可溅射的靶材：Au、Ag、Pt、Cr和Ni
- 不可溅射靶材：氧化物、半导体、一些轻金属、Al、Zn、C等
- 可在本公司选购靶材,具体请点击链接
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外形尺寸
| - 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
- 净重:50KG
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质保期 | 一年质保期，相关耗材除外，终身维护。 |
质量认证 |  Certified |
