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MicroNano^® D5A系列产品特点介绍

选择一款扫描探针显微镜，您应该从以下几方面考评技术性能：

一、 核心要求

1. 根据您现阶段的工作需要，选择功能模块（决定了价格）

2. 验证仪器综合分辨率水平（SPMzui核心关键指标）

重要提醒：分辨率指标是一项和扫描器量程关联的综合性指标

您应该了解清楚zui大量程的那个扫描器的分辨率指标（如果厂家提供多个扫描器的话）

3. 了解样品移动定位的措施，是否能保障样品无盲点，精确移动到任意您想成像的区域

如果不能首先解决样品移动定位的问题，SPM的工作将无法有效进行，再高的分辨率也是空谈，因为您可能找不到您想观测的区域！

二、 其它要求

4. 是否能够根据特殊的科研要求提供仪器改造服务？

5. 是否能够设计更加人性化，使操作更加方便？

我们为您提供的SPM功能模块如下,供您自由搭配选型.    详细指标及其他资料请咨询销售顾问.

1.扫描隧道显微镜模块（STM）：用于获取导电样品表面纳米尺度的形貌像；

包含：恒高/恒流模式

2.原子力显微镜模块（AFM）：用于获取样品表面纳米尺度的形貌像及其相关信息；

包含：接触模式/起伏力/侧向力；轻敲模式/起伏力/侧向力/振幅/相位。

3.超级曲线测量模式：可任意设置所有AD作为Y信号，所有DA作为X信号进行曲线扫描，如I-V、I-Z、力-距离、振幅-距离、频率-相位、相位-距离、频率-振幅 等等曲线。

4.纳米加工模块：刻蚀模式（电刻蚀/力刻蚀/DPN（选配）），刻蚀轨迹（矢量式/图形式）

5.高速精密电控样品移动平台：计算机自动控制电控马达进行精确样品移动和定位，zui小步进50nm，移动范围5*5mm。可在CCD视频界面或SPM图像扫描界面，直接用鼠标拖动待测区到目标位置，计算机控制移动平台自动定位。

6.高分辨彩色CCD光学观测系统：在计算机上成像，用于观察探针和样品，放大倍数80-600倍，视场1.6mm，配套控制及成像软件。

7.膜厚/台阶测量模块：用台阶扫描的方式确定膜厚、台阶高度等，曲线很直观的反映出扫描过程中膜和衬底特定位置的高度。只有配套电控样品移动平台才能精确移动到台阶位置。

8.摩擦力显微镜（LFM）：可定量评价极轻载荷下（10-7--10-9N）薄膜材料的摩擦学特性。可用对分模式准确标定微悬臂与扫描方向的角度；可连续改变正压力进行测量；可同时测到样品起伏、针尖所受的起伏力、横向力；可获取微观摩擦系数。

9.减振系统：悬挂式减振，减振效果优于1Hz，是仪器达到原子分辨的有效保证。

以下10-20项的功能模块请根据您的研究方向自由选配

10.磁力显微镜（MFM）：获得样品纳米尺度局域上形貌像和与其对应的磁畴结构及分布图。

11.静电力显微镜（EFM）：获得样品纳米尺度局域上形貌像和与其对应的静电场分布图；

12.扫描开尔文探针显微镜：在针尖和样品之间施加直流和交流两种电压，应用锁相放大技术可以获得样品表面的功函数变化和表面形貌像。

13.扫描电容显微镜：利用电压调制技术来侦测材料表面电容微小变化。

14.导电原子力显微镜（C-AFM）：获得样品纳米尺度局域上形貌像和与其对应的电流像；通过对偏压进行调制，可得到样品表面局域I-V曲线等信息。并可实现电压刻蚀。

15.液相/气氛AFM：封闭式探针-样品体系，可充液体或气氛，实现液相/气氛AFM多种成像模式，适用于生物样品，而且对克服毛细力和消除静电也有显著的作用。

由于密闭区域只有探针-样品区域，因此可充具有一定腐蚀性的气体或液体，而且可以很快地更换，残留少。可同时注入两种液体/气体，实时动态更换，并随时改变各自的注入量。

可选配增强模式：在该系统中zui多增加3个外部电极，供用户扩展应用范围。可与电化学控制系统联用，构成电化学SPM。

16.样品加热台：控温范围 室温～150℃；精度0.5℃，*设计的样品冷却系统，使降温控制更加快速准确。样品台直径30mm，加热台系统内绝热层的巧妙设计，可有效抑制热飘移现象对成像质量的影响。可选配250℃高温模式。

17.压电力显微镜（PFM）：于研究压电、铁电材料纳米尺度的压电响应特征。

可选针尖加高压模式：电压范围-150V--150V