SPM 大样品扫描探针显微镜源
产品简介
详细信息
大样品扫描探针显微镜源自着名的变温SPM，为采用SPM研究较大尺寸的样品（zui大直径4’’的晶圆或自制样品）提供一个理想的平台。它主要特点如下：
样品zui大直径4’’
可通过法兰对接在已有的真空腔体上
Sub system option
Fab line compatible
pA量级的隧道电流
增强的dI/dV隧穿谱
激光反射式AFM QPlus式AFM
大样品扫描探针显微镜源自着名的变温SPM，为采用SPM研究较大尺寸的样品（zui大直径4’’的晶圆或自制样品）提供一个理想的平台。它主要特点如下：
样品zui大直径4’’
可通过法兰对接在已有的真空腔体上
Sub system option
Fab line compatible
pA量级的隧道电流
增强的dI/dV隧穿谱
激光反射式AFM QPlus式AFM