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　　仪器简介：

　　INCAWave是采用全聚焦的高精密波谱仪。精密的波谱仪和稳定可靠的控制电路使INCAWave成为*秀的波谱系统。

　　主要特点：

　　·波谱仪的倾斜安装不再对样品的工作距离有苛刻的要求，样品的高度可以在2mm内变化，因此不再需要像电子探针及平行光波谱仪所要求的光学显微镜辅助系统。

　　·谱仪的分辨率zui低至2eV，能够分辨非常接近的谱线。

　　·优异的探测极限，多种元素zui低可至100ppm

　　·能量探测范围高达10.8keV，(15keV可选)

　　·准确的XPP基体修正方法

　　·可靠稳定的机械设计，经历了25年的历史考验

　　·与各种SEM的*配合包括低真空和ESEM

　　·低束流(<5nA)下获得高空间分辨率，同时对包括轻元素在内的多重元素准确定量分析