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　　GC-9560-HF氟气分析系统技术参数：                              
　　
　　系统包括：                                
　　
　　1，负压取样系统；                     
　　
　　2，六通阀进样系统；                  
　　
　　3，色谱分析系统；                    
　　
　　4，数据采集和处理系统。由于氟气中含有腐蚀性*的HF，所以该色谱配备了两台耐腐蚀的热导，全部采用阀进样，所有样品经过的地方都采用了防吸附处理。
　　
　　GC-9560-HF氟气分析系统主要特点：                             
　　
　　负压取样系统中，样品吸附罐和连接管道都是采用耐腐蚀的316L不锈钢，电磁阀采用聚四氟材料。其真空漏量小于0.001KPa/h，安全级别可以达到实验室要求。          
　　
　　六通阀和四通阀均采用VICI公司的1/8阀件，分析系统配备两台热导。            
　　
　　数据采集和处理系统用反控软件，上面加有6路事件可分别控制阀件和真空泵。