IoN 40 PVA TePla 等离子体清洗机
产品简介
详细信息
进口PVA TePla 等离子体清洗机
德国PVA TePla射频等离子体清洗机,腔体采用模块化设计,可以根据产品需要更换不同腔体,满足客户需要。
*液态单体功能,除常规的工艺气体外可以接入液态单体作为工艺源料。
规格参数:
铝制/石英腔体,模块化设计,可根据产品需要,更换滚筒、粉末滚筒、垂直极板、平行极板、料盒极板、水冷极板等多种腔体结构。
13.56MHz风冷射频电源(0-300w/0-600w/0-1250任意可调电源)
自动功率匹配
zui多6路工艺气体
3路MFC,
可选配液态单体操作装置
可选配法拉第网
压力控制装置
外形尺寸:775 x 723 x 781 mm/737×1980×1118 mm/635×1120×1473 mm
应用领域:
去除光刻胶photo-resist stripping
表面精密清洁surface precision cleaning
表面活化 surface modification
提高表面粘合性 bond strength enhancements
改变表面亲水性/疏水性 hydrophilic/hydrophobic
分子接枝 molecular grafting
涂层 plasma deposited coatings