Park Systems原子力显微镜 XE-15
产品简介
详细信息
Park Systems原子力显微镜 XE-15
仪器简介:
Park XE-15具有全面的样品兼容性。其多种样品台设计，为不同尺寸、形状、数量的样品提供了方便可靠的测试环境。解耦合的闭环XY扫描器，消除了弯曲效应误差，提供了的线性度。真正的非接触扫描模式，扩大了适合样品种类，同时极大地延长了探针寿命，降低了使用成本。
Park Systems原子力显微镜 XE-15技术参数：
扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围100μm*100μm（可选50μm*50μm）
平面偏移度:<2nm（40μm*40μm扫描）
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围12μm（可选25μm）
共振频率：>5kHz
表面成像噪声：0.03nm
样品台
样品台种类：16位点样品台/150mm直径真空吸附台（可选200mm直径真空吸附台）
样品尺寸： 150mm*150mm*20mm
样品重量：zui大500g
样品台移动范围：150mm*150mm（可选200mm*200mm）
主要特点：
一、创新的多位点样品台设计，提供工作效率
●一次操作zui多可以扫描16个样品
●样品安放简单，扫描迅速
●极大提高了数据的精确性和重复性
二、支持超大样品，满足业界发展需要
●zui大支持200 mm晶圆，满足用户目前和今后的需要
●满足半导体相关用户实际需要的专门设计
三、丰富的功能模式选择
●完善支持各种SPM功能
●支持多种选配测量模式
●支持各种可选配件，扩展性能
