Park Systems原子力显微镜 NX-20
产品简介
详细信息
Park Systems原子力显微镜 NX-20
仪器简介:
NX-20具有的形貌表征能力，完善的设计使其保证了扫描的高精确度和数据的高重复性。高度自动化的软硬件，极大地避免了人为操作的失误和误差，提高了工作效率测量，降低了劳动强度。该仪器具备高速的伺服响应能力，超高的扫描器线性度，极低的闭环检测器噪声水平，和zui小的系统热漂移量。作为一款界面友好，操作简便的仪器，NX-20会成为纳米研究领域及相关产业界的得力助手。
Park Systems原子力显微镜 NX-20技术参数：
扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围100μm*100μm（可选50μm*50μm）
平面偏移度:<2nm（全量程扫描）
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围15μm（可选30μm）
定位检测噪声：0.03nm（带宽：1kHz）
共振频率：>9kHz
表面成像噪声：0.03nm
样品台
样品台种类：16位点样品台/150mm直径真空吸附台（可选200mm直径真空吸附台）
样品尺寸： 150mm*150mm*20mm
样品重量：zui大500g
样品台移动范围：150mm*150mm（可选200mm*200mm）
主要特点：
一、高精确性和高重复性
● 探针几乎没有损耗，保证了图像的高分辨率
● 非接触模式下zui快的扫描速度
● 的双路闭环解耦合XY平板式扫描器
● 业内zui小的系统漂移和迟滞
二、低噪声检测器精确测量样品形貌
●采用业界的低噪声检测器测量样品形貌
● 消除了蠕变效应导致的边缘超调误差
● 高速扫描过程中的精确形貌检测记录
●业界的极小正反测量偏离量，小于0.15%
三、Non-Contact™(真正非接触) 模式极大降低了使用成本
●相对于传统扫描模式，将探针寿命提高了10倍以上
●极低的探针损耗极大地延长了探针高分辨扫描寿命
●对样品几乎没有磨损
