闭循环低温恒温器
产品简介
详细信息
| Polaris-C-4(闭循环)特点： 载物Chuck 温度范围：10K-500K 载物chuck 可到4英寸 制冷功率：1W@4.2K 探针振动抑制：< +/- 60 nm in 30 mins 双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度 可以选择射频配件做67 GHz的射频测试 可以选择防震桌 可以选择超高真空腔体,极限真空到10-10 torr 客户订制 | ||||||||||||||||||||||||||||||
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| 温控规格:
可选附件 防震桌 内置/外置探针臂 显微镜 方形chuck 分子泵组 射频部件 Chuck可外部移动装置 高真空腔体 客户定制。 |