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DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计，可实现 4Å （0.4nm） 的的重复性，扫描速度可提高 40%。探针式轮廓仪性能的这一重大里程碑是 Dektak® 五十多年创新和地位的。DektakXT 结合了一的技术和设计，可提供的性能、易用性以及价值，实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。

1）台阶高度重复性4 Å

*单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性

*的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标 准—新的硬件配置使数据采集能力提高了40%

*64位 的Vision64同步数据处理软件，将数据 分析速度提高十倍。

2）功能，操作简易

*直观的Vision64用户界面操作流程简便易行

*自对准式探针设计使得更换探针的步骤简便易行

3）探针轮廓仪，的价值

* 性能优异, 物超所值

*的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量

台阶仪性能优劣取决于以下三方面: 测量重复性, 测试速度和操作难易程度，这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT采用全新的仪器系统构造和化的测量及数据处理软件来实现可靠、快速和简易的样品检测，达到的仪器使用效果。

4）提高操作的可重复性

DektakXT 的多处设计保证了其的表现, 达到优于 5 埃的测量重复性. 使用单拱龙门结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker 完善了仪器的智能化电子器件，提高了其工作性能的稳定性，降低温度变化对器件的影响，并且采用的数据处理器。在控制器电路中使用智能敏化电子器件，会把

系统和环境噪音引起的测量误差降到。因此采用DektakXT 测量系统，能够更稳定可靠地扫描高度小于10nm 的台阶，获得其形貌特征。单拱龙门结构和智能器件的联用，大大降低了基底噪音，增强了稳定性，使其成为一个竞争力的表面轮廓仪。

5）提高测量和数据分析速度

采用高速的直接驱动扫描样品台, DektakXT 在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大缩短了每次扫描的间隔时间。这一改进，提高了进行大范围 3D 形貌表征或者表面长程应力扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高 40%。另外DektakXT 采用 Bruker 具有 64 位数据采集同步分析的Vision64，它可以提高大范围 3D 形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。Vision64 还具有直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。

6）简便易行的实验操作系统

为了便于操作可供多用户使用的系统，一个必要条件就是能够迅速简便地更换不同模式所需要的探针。DektakXT新颖的探针和部件自动对准装置，可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。这一改进使原来费时耗力的实验步骤变得简便易行。为尽可能满足所有应用的需求，布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针，其中包括专为深槽测量定制的高深宽比的探针。

7）完善的数据采集和分析系统

与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上简洁的用户界面，具备智能板块，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。简明的测量窗口集参数设定与硬件控制于一体，极富逻辑性，既可使不常使用仪器者轻松回忆起如何操作，又可使操作老手不至于为过多的基本重复步骤而烦恼或分心。

数据获取后，软件的自动调平，台阶识别分析，以及数据分析模块的各种滤波功能等使得分析简便快捷。使用数据分析模块，不论是通过一个程式来处理单次扫描结果的标准分析，还是尝试使用多种滤波设置和计算，使用者都可以清晰地看到数据处理结果以及其他可用的分析手段。

相关图片

1）DektakXT 的 64 位并行处理 Vision64 在更短的时间里完成并处理大型 3D 数据文件

2）Dektak XT的扫描探针可实现同时大垂直范围和低力扫描

3）DektakXT 的 Vision64 显著简化并加快了操作和数据分析

4）DektakXT 具有、的换针流程。可提供各种探针，以满足泛的应用

5）DektakXT 对复合电路板进行3D扫描