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真空等离子清洗机

(1) 产品介绍 

该设备为一种新型小型一体化等离子清洗氧化设备，可用于工件的清洗，氧化处理。

(2) 特点

1. 配备高真空机械油泵，极限真空度可达到0.1 Pa，抽速>3 l/s；

2. 配备两个气体输入口，并配备流量计和针型阀进行流量和真空度控制，标配流量量程100 ml/min，真空度10 Pa以上可调；

3. 标配射频等离子源频率13.56 MHz（可选配40 KHz），标配功率100 W（可选配其他功率），调节精度1 W；

4. 不锈钢等离子腔体尺寸为~Ø150*240 mm，腔体内部光滑处理，配有相应的法兰接口和气体进口，及其它辅助安装口；

5. 工作台尺寸为：140 mm*200 mm，高度80 mm，可放置小于该尺寸的样品；

6. 真空采用电阻真空计和相应的压力控制仪测量，测量范围10^-1~10⁵ Pa，精度1%；

7. 不锈钢等离子腔体采用正面开门式结构，盖上配有观察窗，操作方便。