离子溅射仪
产品简介
详细信息
SD-900型离子溅射仪是采用二级（DC）直流溅射原理设计而成的离子溅射镀膜设备。二极（DC）直流溅射是一种、可靠、经济的镀膜技术，是许多厂商提供的离子溅射仪的基础。
V技术规格说明
样品仓尺寸 | φ150mm h120mm |
样品台 | 可放置1 2 个标准SEM样品座，高度可在 |
上部电极 | 靶直径5 0 mm，厚度0 .1mm |
溅射控制 | 电流5 0mA |
溅射面积 | φ5 0mm |
真空度 | ≤4×10-2mbar |
靶材 | 金靶、银靶、 铂靶 |
溅射速率 | 优于5nm/min (金靶） |
工作电压 | 220V, 50HZ |
输出电压 | -1600V |