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光学仪器及设备电子显微镜扫描电镜(SEM)

高性能聚焦离子束系统 MI4050

供应商:
深圳市汐品科技有限公司
企业类型:
其他

产品简介

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统:新型电子光学系统,可达到高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率,使得高品质TEM样品制备成为可能可用于截面加工观察,高品质TEM样品制备,电路修复,Vector Scan加工,微纳米级微细图形及磨具加工,利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。

详细信息

概述
产品参数

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统:新型电子光学系统,可达到高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率,使得高品质TEM样品制备成为可能
可用于截面加工观察,高品质TEM样品制备,电路修复,Vector Scan加工,微纳米级微细图形及磨具加工,利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。


产品参数
项目内容
样品尺寸50mm×50mm×12mm(t)以下
样品台5轴电动机械优中心马达台
加速电压1~30kV (0.5kV~ 选配)
(0.5~1.0kV : 步长0.1kV)
(1.0~2.0kV : 步长0.2kV)
二次电子分辨率4nm@30kV
探针电流90nA
探针电流密度50A/cm2


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