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光学仪器及设备电子显微镜扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）

日立5500M全自动型原子力显微镜

供应商：
深圳市汐品科技有限公司
企业类型：
其他

产品简介

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。特点1. 自动化功能高度集成自动化功能追求高效率检测降低检测中的人为操作误差 4英寸自动马达台自动更换悬臂功能2....

详细信息

概述
产品参数

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。

特点

1. 自动化功能

  • 高度集成自动化功能追求高效率检测

  • 降低检测中的人为操作误差


4英寸自动马达台

自动更换悬臂功能

2. 可靠性

排除机械原因造成的误差

大范围水平扫描

采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。

样品 ：硅片上的非晶硅薄膜

高精角度测量

普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。

样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)

  • * 使用AFM5100N（开环控制）时

3. 融合性

亲密融合其他检测分析方式

通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。

SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨烯/SiO2）

上图是AFM5500M拍摄的形貌像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。

  • 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。

  • 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。

  • SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。

与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。



产品参数
AFM5500M 主机
马达台自动精密马达台
观察范围：100 mm （4英寸）全域
马达台移动范围：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm
样品尺寸直径：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm
样品重量：2 kg
扫描范围200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：闭环控制 / Z：感应器监控）
RMS噪音水平*0.04 nm 以下（高分辨率模式）
复位精度*XY: ≤15 nm(3σ、计量10 μm的标准间距) / Z: ≤1 nm (3σ、计量100 nm 的标准深度)
XY直角度±0.5°
BOW*2 nm/50 µm 以下
检测方式激光检测（低干涉光学系统）
光学显微镜放大倍率：x1 ～ x7
视野范围：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm
显示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸显示器）
减震台台式主动减震台 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、约28 kg
防音罩750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 约 237 kg
大小・重量400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、约 90 kg

  • * 参数与设备配置及放置环境相关。

AFM5500M 专用原子力显微镜工作站
OSWindows7
RealTune®II自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速率以及信号反馈
操作画面操作导航功能、多窗口显示功能（测试/分析）、3D图像叠加功能、扫描范围/测量履历显示功能、数据批处理分析功能、探针评估功能
X, Y, Z扫描驱动电压0～150 V
时时测试（像素点）4画面（2,048 x 2,048）
2画面（4,096 x 4,096）
长方形扫描2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
分析软件3D显示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
自动控制功能自动更换悬臂、自动激光对中
大小・重量340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、约 34 kg
电源AC100 ～ 240 V　±10% 交流
测试模式标配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 选配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM

  • * WINDOWS 是、美国 Microsoft Corporation 在美国及美国以外国家注册商标。

  • * RealTune是日立高新科学公司在日本、美国以及欧洲的注册商标。

选配项：SEM-AFM联用系统
可适用的日立SEM型号SU8240、SU8230（H36　mm型）、SU8220（H29 mm型）
样品台大小41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H）
样品尺寸Φ20 mm x 7 mm
对中精度±10 µm （AFM对中精度）


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