超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
产品简介
详细信息
概述
产品参数
核心理念
采用优异的成像技术
SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统，使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号，用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。采用多通道成像技术
随着用户对成像需求的不断增长，SU7000特新增了几种探测器，还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的。支持不同形状样品、多种观察方法
・大型样品观察
・低真空观察
・超低温观察
・实时观察
等所需的样品仓和真空系统都十分完备，观察方法也是。支持微纳解析
采用肖特基发射电子枪，束流可达到200 nA，适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴极荧光分析等，接口设备可通过选配附件满足各种特殊需求。
成像能力
追求信息的检测系统
随着用户对样品数据的需求更加多元化，对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的前提下，更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更全面的信息收集。
产品参数
| 项目 | 内容 | ||
|---|---|---|---|
| 图像分辨率 | 二次电子分辨率 | 0.8 nm/15 kV | |
| 0.9 nm/1 kV | |||
| 放大倍率 | 20～2,000,000 x | ||
| 电子枪 | 发射体 | ZrO/W热场发射（肖特基热场发射） | |
| 加速电压 | 0.1～30 kV （步进：0.01 kV） | ||
| 束流 | 200 nA | ||
| 探测器 | 标准探测器 | UD （上探测器) | |
| MD （中探测器） | |||
| LD （下探测器) | |||
| 选配探测器*1 | PD-BSED (半导体式背散射电子探测器） | ||
| UVD（高灵敏度低真空探测器 ） | |||
| 低真空模式*1 | 样品仓压力范围 | 5～300 Pa | |
| 可使用探测器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | ||
| 马达台 | 马达台控制 | 5轴马达驱动 | |
| 移动范围 | X | 0～135 mm | |
| Y | 0～100 mm | ||
| Z（WD） | 1.5～40 mm | ||
| T（倾斜角） | -5～70° | ||
| R（旋转角） | 360° | ||
| 样品尺寸 | 直径：φ200 mm, 高度：80 mm | ||
| 显示器*1 | 23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持双屏 | ||
| 图像显示模式 | 全屏显示模式 | 1,280×960像素显示 | |
| 单屏显示模式 | 800×600像素显示 | ||
| 双屏显示模式 | 800×600像素显示、1,280×960像素显示 *2 | ||
| 四屏显示模式 | 640×480像素显示 | ||
| 六屏显示模式*2 | 640×480像素显示 *2 | ||
| 图像数据保存 | 保存图像尺寸 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 | |
| 选配附件 | 能谱仪（EDX） | ||
| X射线波谱仪（WDX） | |||
| 电子背散射衍射（EBSD） | |||
| 阴极荧光探测器（CL) | |||
| 冷冻传输系统 | |||
| 各种功能样品台 | |||
*1
为选配项。
*2
支持双屏显示。