手动纳米平台
产品简介
详细信息
手动纳米平台
手动纳米平台是西格玛光机全新概念的，全新产品，至今还没有确定上市时间，此款平台在普通的手动微分头和平台台面之间，加装一个压电陶瓷模块，该压电陶瓷模块，有一组手动钮控制，一个钮对应一个轴，实现平台台面位置的纳米分辨率的微调，不仅如此，它既有大行程（6mm），又有高精度（＜20nm），还有小体积（25*25台面可选），实现了手动平台超高分辨率调整的理想手段。
技术指标：
指标项目 | 台面尺寸 | 口25mm | 口40mm
| 口60mm |
行程 | 粗调（mm） | 6 | 13 | 13 |
微调（μm） | 30~50 | 30~50 | 30~50 | |
分辨率 | 粗调（mm） | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
微调（nm） | <20 | <20 | <20 | |
承载能力 | X/XY 轴（kg） | 2 | 3 | 5 |
Z轴（kg） | 1 | 1 | 1 |
*粗调：普通微分头
微调：压电陶瓷
手调控制器类型：1轴用，3轴用
实测数据图：
重要信息：
我司是西格玛光机的中国区域一级代理商，只要有新产品上新，我们都是个知道，想了解更多手动纳米平台的资料，可以关注我们，不仅如此，我们还提供各种指标的成像物镜、加工物镜、光刻物镜等的定制，我们。