ZHDF独立支撑气浮光学平台
产品简介
详细信息
ZHDF独立支撑气浮隔振光学平台
应用领域：
适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用
产品特点：
■中弘精密依托于光电子产业科研工作人员，研发制造的一款通用性隔振光学平台，能够满足精密负载对振动隔离需求，且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案，改善振动环境，以发挥设备仪器的效能。
■优异的隔振性能：内置精密空气弹簧隔振系统，具备优秀的固有频率，对多个方向的振动尤其是垂直方向有着良好衰减效果，避免外界振动干扰设备仪器精度，提高仪器设备使用精度和使用效率。
■自动调节水平功能：放置负载的位置发生变化，平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压，自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品标准，标配优质压缩机。
■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，上面板为1cr17优质高导磁不锈钢，经精密研磨处理，平面度高，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果，面板具有M6螺孔阵列，易于固定光学元件。
■隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固可靠。
■工作压力为0.35～0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作，用户只需要将气管连接进气口，就能使装置正常发挥隔振功能，气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给，便于在安静场合使用。
技术指标：
■平面度：< 0.05mm/m2
■表面粗糙度：< 0.8μm
■固有频率；x方向：1.2Hz～2.0Hz y方向：1.2Hz～2.0Hz
■减振效率：x方向＜5Hz时：88%～94% y方向＜5Hz时：86%～92%
x方向＜10Hz时：92%～98% y方向＜10Hz时：90%～95%
■振幅：< 1μm
■荷载能力：500kg/m2
■重复定位精度：±0.05mm
产品选型表：
规格型号 | 长-宽-高 | 备 注 |
ZHDF- 600x600x80 | 600-600-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 750x750x80 | 750-750-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 900x600x80 | 900-600-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 1200x800x100 | 1200-800-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 1500x1000x100 | 1500-1000-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 1800x1200x150 | 1800-1200-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 2000x1000x150 | 2000-1000-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 2000x1200x150 | 2000-1200-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 2000x1500x150 | 2000-1500-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 2400x1200x200 | 2400-1200-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 2400x1500x200 | 2400-1500-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 3000x1000x250 | 3000-1000-800 | 6支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 3000x1200x250 | 3000-1200-800 | 6支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 3000x1500x250 | 3000-1500-800 | 6支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 3500x1200x250 | 3500-1200-800 | 6支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 3500x1500x250 | 3500-1500-800 | 6支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 4000x1500x250 | 4000-1500-800 | 6支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 4500x1500x300 | 4500-1500-800 | 6支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 5000x1500x300 | 5000-1500-800 | 8支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 6000x1500x300 | 6000-1500-800 | 8支撑 M6螺孔孔距25mm |
ZHDF- 8000x1500x300 | 8000-1500-800 | 8支撑 M6螺孔孔距25mm |