主动隔振光学平台
产品简介
详细信息
主动隔振光学平台RXGD-MO系列技术指标：
• 固有频率：0.5-100Hz
• 自动平衡，相应时间短，平衡速度快
• 钢制真蜂窝结构,：0.25mm厚箔
• 蜂窝芯尺寸 ：3.2cm2 (0.5 in²)
• 表面平整度：±0.1mm (±0.004 in.) /600 mm² (2 ft.)
• 上台面 ：4mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢
• 下地面 4.5厚碳钢，表面氧化处理
• 边墙板 2.0mm厚碳钢。包裹高阻尼聚乙烯材料
• 孔径： M6 (英制螺孔可选)
• 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，*外边孔距平台边缘37.5mm
• 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁
• 阻尼隔振方式：宽带阻尼
RXGD-M系列主动隔振器参数表：
| 型号 | RXGD-M1000 | RXGD-M2000 | RXGD-M3000 | |
| 尺寸 | 隔振器(mm) | 215x215x180 | 232x232x180 | 308x308x180 |
| 控制器(mm) | 334x357x120 | 334x357x120 | 334x357x120 | |
| *大负载(kg) | 1500-3500 | 1500-3500 | 1500-3500 | |
| 重量(kg) | 15 | 15 | 15 | |
| 驱动方式 | 电机驱动 | |||
| 隔振自由度 | 6个自由度 | |||
| 隔振效率 | 95%-99%at 10Hz | |||
| 回复时间 | <0.5Sec | |||
| 驱动器推力 | 竖直>20N,水平>40N | |||
| 输入电压 | AC 85-264/50-60Hz | |||
| 功率消耗 | 峰值功率110W,稳定功率50W | |||
| 空气压力 | 大于0.5Mpa | |||
| 环境要求 | 温度℃ | 5-50°C | ||
| 湿度 | 20%-90% | |||
| 主动隔振频率范围 | 0.5-100Hz | |||
| 初始水平调整 | 自动调整 | |||
| 系统配置 | 4个隔振器包含控制箱 | |||