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平面气浮直线电机平台

采用XY轴共面设计的RXT210-XY系列气浮平台拥有比一般XY平台更加优秀的平面度及形位公差，无铁芯直线电机保证了运动轴的运动精度、高动态响应以及运动效果均匀性，花岗岩底座更是为的平面度提供了保证，是晶圆检测以及高精度面型微加工的。

主要性能参数：

*平台速度取决于有效行程、光栅分辨率以及光栅和驱动器的时钟频率，不同配置会导致此项参数上限值的变化，详询厂家

**速度均匀性又称速度误差，与速度所处区间关系较大，速度越慢速度误差比例越大，低于1mm/s的应用，推荐采用线性驱动器

***此数据为实验室实测数据上限，如有更高要求，需搭配AOZ-MCS系列控制器，详询厂家

RXT210-XY外形尺寸图

此数据为标定后参数

*实际尺寸会根据客户所需的行程来确定

**如需要进一步的尺寸信息或者3D图档，请直接联系厂家

产品型号命名规则：

RXT210 - X*Y - ER 5 C15

1 2 3 4 5

1RXT210为产品系列，ABT为直线电机平台的英文缩写，210代表着平台滑块部分的宽度

2X*Y代表着该型号产品的有效行程，单位mm，标准品请从产品样册的型号中选，如需其它行程，可联系厂家沟通定制

3ER代表编码器的类型，所有直线电机产品默认采用直线开放式光栅

45代表该型号产品光栅的分辨率，单位nm，默认产品分辨率为5nm，为模拟量光栅4096细分后所得，分辨率的改变会导致平台速度以及重复定位精度的变化，详细情况请进一步咨询厂家

5C15代表设备出线长度为1.5m，单位m，默认产品出线长度1.5m，可选0.5m/1m/3m/5m等，写作05/10/30/50，出线长度会因产品型号不同存在误差，如设备对出线长度要求较高，请联系厂家进一步沟通

特别注意事项：

1、直线电机平台属于高精度精密设备，因此如果希望得到性能，需要保证足够的使用环境，尤其在使用要求重复定位精度小于1um的设备上，所有指标的复现都需要满足一定的温度、湿度、气压、振动等，详细要求可进一步联系厂家咨询沟通

2、所有平台可单独订购，如对设备的精度以及性能要求较高，推荐使用奥正智能自主生产的MCS控制器系列，搭配MCS系列控制器出货的产品，在出厂检验中都会做针对性的优化和校准，是您高要求使用的。

3、气浮平台需搭配空压机、储气罐、冷干机、油水分离器、过滤器、干燥器、调压阀等辅助配件，详细规格请咨询厂家