PMD-气浮隔振大理石平台
产品简介
详细信息
产品介绍：
■台面材料采用健康型天然大理石平台，其明显优点是平面度好、质量大、稳定性好、耐腐蚀性强。■隔振器采用高阻尼低频空气弹簧，配带无油空压机，隔振性能优良，系统稳定。具有自动水平，自动充气，噪声低等特点。关键气动执行元件均采用进口产品。
■该产品适用于XY精密移动检测平台，晶圆检测，芯片检测，轮廓仪，点胶机检测等平面度要求高的实验。技术指标：
■平面度：00级
■固有频率：x方向：1.5Hz～2Hz y方向：1.5Hz～2Hz
■重复定位精度：±0.05mm
■比重：2970 ~ 3070 kg/㎡
■抗压强度：245〜254 Mpa
■弹性模量：1.27 ~ 1.47 Gpa
■线膨胀系数：4.61x10—6/0 C
■吸水率：<0.31%
■肖氏硬度：70 Hs以上
■接受特殊规格尺寸订做
