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ZZJ-MX12R系列半导体PFD检测金相显微镜

供应商：: 深圳市中正仪器有限公司

企业类型：: 其他

产品简介

详细信息

ZZJ-MX12R系列半导体FPD检测金相显微镜

一、 仪器概述：

全新的ZZJ-MX12R半导体 /FPD 检查显微镜，支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查，含 4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。

光学系统	无限远色差校正光学系统
观察方式	明场/暗场/偏光/DIC
观察筒	无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节：50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
目镜	高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm，视度可调，可带单刻度十字分划版
物镜	无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X 10X 20X 50X 100X
	无限远长工作距明暗场半复消金相 DIC 物镜 20X
	无限远长工作距明暗场半复消金相物镜 50X 100X
转换器	明暗场六孔电动转换器，带 DIC 插槽
机架组	反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统
机架组	透反机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm，微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统
载物台	右手位 14×12 英寸三层机械移动平台，低手位 X、Y 方向同轴调节；平台面积 718mmX420mm，移动范围：356mmX305mm
载物台	带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板 ( 反射用）
电动平台	面积 495mmX641mm，移动范围：306mmX306mm ；软件控制 X、Y 移动，重复定位精度，（3+L/50）μm 带平板平台
照明系统	明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑，视场光阑 , 中心均可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽
摄影摄像附件	0.5X/0.65X/1X 摄像接筒，C 型接口，可调焦
其他	起偏镜插板，固定式检偏镜插板，反射用干涉滤色片组；高精度测微尺；DIC 组件

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