OLS5000 3D测量激光显微镜
产品简介
详细信息
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共聚焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。
OLS5000拥有四个关键价值
1.捕捉任意表面形状
2.快速获得可靠数据
3.使用简单-只需放好样品按下按钮即可
4.测量具有挑战性的样品
技术规格
| 型号 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 总倍率 | 54x - 17,280x | |||||
| 视场直径 | 16um - 5,120um | |||||
| 测量原理 | 光学系统 | 反射式共聚焦激光扫描激光显微镜 反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜 彩色 彩色DIC | ||||
| 光接收元件 | 激光：光电倍增管（2ch） | |||||
| 高度测量 | 显示分辨率 | 0.5nm | ||||
| Linear scale | 0.78nm | |||||
| 动态范围 | 16 bits | |||||
| 重复性*1 *2 *6 | 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm | |||||
| 准确性*1 *3 *6 | 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) | |||||
| 拼接图像准确度 *1 *4 *6 | 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) | |||||
| 测量噪声*1 *5 *6 | 1nm [Typ] | |||||
| 宽度测量 | 显示分辨率 | 1nm | ||||
| 重复性 *1 *6 | 10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm | |||||
| 准确度*1 *3 *6 | 测量值 +/- 1.5% | |||||
| 拼接图像准确度 *1 *3 *6 | 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) | |||||
| 单次测量时测量点的数量 | 4096 x 4096 pixel | |||||
| 测量点的数量 | 36 Mpixel | |||||
| XY 载物台配置 | 长度测量模块 | • | 无 | 无 | • | 无 |
| 工作范围 | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | 300 x 300 mm Motorized | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | |
| 样品高度 | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | 150mm | |
| 激光光源 | 波长 | 405nm | ||||
| 输出 | 0.95 mW | |||||
| 激光分类 | 2类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
| 彩色光源 | 白光 LED | |||||
| 电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
| 质量 | 显微镜主体 | 约31 kg | 约 32 kg | 约 50 kg | 约43 kg约 | 44 kg |
| 控制箱 | 约12 kg | |||||
*1 在 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证 (温度: 20˚C±1˚C, 湿度: 50%±1%) 。
*2 在使用 MPLAPON LEXT系列物镜测量时.
*3 在使用专用LEXT物镜测量时.
*4 在使用20X或更高倍率专用LEXT物镜测量时.
*5.在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值
*6.基于奥林巴斯认证体系保证
4K 扫描技术
4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素，是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了两倍。OLS5000显微镜无需图像处理就能检测几乎垂直的陡峭斜面和极低的台阶 智能判定功能
由于传统激光显微镜采用图像平滑处理的方式来消除噪声，有时会将测得的正确的细微高度不规则数据连同噪声仪器消除。OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判定算法，可在不丢失细微高度不规则数据的情况下实现精确测量。 其他高分辨率测量技术
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