AST-MX12R 半导体 \FPD 检查显微镜
产品简介
详细信息
产品描述：
新的MX12R半导体 /FPD 检查显微镜，支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查，含 4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。
详细参数：
| 光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
| 观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC |
| 观察筒 | 无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节 :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100 |
| 目镜 | 高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm，视度可调，可带单刻度十字分划版 |
| 物镜 | 无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X 10X 20X 50X 100X |
| 无限远长工作距明暗场半复消金相 DIC 物镜 20X | |
| 无限远长工作距明暗场半复消金相物镜 50X 100X | |
| 转换器 | 明暗场六孔电动转换器，带 DIC 插槽 |
| 机架组 | 反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 |
| 透反机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm，微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 | |
| 载物台 | 右手位 14×12 英寸三层机械移动平台，低手位 X、Y 方向同轴调节 ；平台面积 718mmX420mm，移动范围 ：356mmX305mm |
| 带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动 ；玻璃载物台板 ( 反射用） | |
| 电动平台 | 面积 495mmX641mm，移动范围 ：306mmX306mm ；软件控制 X、Y 移动，重复定位精度，（3+L/50）μm 带平板平台 |
| 照明系统 | 明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑，视场光阑 , 中心均可调 ；带明暗场照明切换装置 ；带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
摄影摄像附件 | 0.5X/0.65X/1X 摄像接筒，C 型接口，可调焦 |
| 其他 | 起偏镜插板，固定式检偏镜插板，反射用干涉滤色片组 ；高精度测微尺 ；DIC 组件 |