蔡司扫描电镜Gemini系列
产品简介
详细信息
聚苯乙烯球上的金纳米颗粒，在3kV电压下成像。左：Inlens SE 图像，表面形貌。右：EsB 图像，材料衬度。样品：由德国University Erlangen-Nuremberg 大学的 N. Vogel 提供。
蔡司GeminiSEM 系列
用于进行高衬度和低电压成像的场发射扫描电子显微镜
GeminiSEM 系列产品能够轻松实现亚纳米分辨成像，即便在低真空模式下仍具有的探测效率。GeminiSEM 500 将成熟的 Gemini 技术与革新的光学设计结合，从而全面提升成像分辨率，尤其是在低电压下。借助其 20 倍增强的 in-lens 信号探测能力，您能够快速地获取清晰图像，并使样品损伤降至。GeminiSEM 系列产品的全新可变压力模式，让您拥有在高真空环境下成像的感觉。
运用 GeminiSEM 系列产品获取真实世界中任意样品的出色图像，为您的研究、工业实验室或成像平台添置一台灵活、可靠的场发射扫描电子显微镜。
在低电压下获取更丰富的细节信息
- 在低电速电压下利用高衬度照片解析纳米级结构信息。
- 在500V电压下达到1.2nm分辨率成像，在1kV电压下达到1.1nm分辨率成像。您将受益于无样品偏差的出色图像品质。
- 成熟的Gemini技术缩短了成像时间。
随时提供更强的信号
- GeminiSEM 500新的物镜设计大大提高了检测效率。它将in-lens二次电子信号增强了20倍。
- 通过检测最合适的那部分电子信号， 您可以提升效率并获得样品的信息。
- 您可以利用这一优势显著缩短成像时间，或者使用更低电流以避免样品损伤。
可变压力使其更具灵活性
- 在可变压力模式下工作，让您拥有在高真空环境下成像的感觉。
- 在可变压力下使用in-lens检测。获得高分辨率、高衬度和高信噪比的图像。
- 如今，即使是要求的非导电样品也能获得清晰图像。
技术规格
| 基本规格 | 蔡司 GeminiSEM 500 | 蔡司 GeminiSEM 300 |
| 分辨率* | 15 kV 时，0.5 nm | 15 kV 时，0.7 nm |
| 1 kV 时，0.9 nm | 1 kV 时，1.2 nm | |
| 0.5 kV 时，1.0 nm | ||
| 在 30 Pa 样品室压力和 3 kV 电压（配有 可变压力机型）下，1.4 nm | ||
| 加速电压 | 0.02 – 30 kV | |
| 探针电流 | 3 pA - 20 nA（另有 100 nA 配置） | |
| 放大倍率 | 50 – 2,000,000 × | 12 – 2,000,000 × |
| 电子枪 | 热场发射型，稳定性优于 0.2%/h | |
| 主机标配探测器 | Inlens 二次电子探测器 | |
| Everhart Thornley 二次电子探测器 | ||
| 高效 VPSE 探测器（包含在可变压力选件中） | ||
| 可选配的探测器 | ||
| 环形 STEM 探测器（aSTEM 4） | ||
| AsB4背散射探测器 | ||
| 阴极荧光探测器 | ||
| 图像存储 | 32k × 24k 像素 | |
| 样品台 | 5 轴电动优中心样品台 | |
| X = 130 mm；Y = 130 mm | ||
| Z = 50 mm | ||
| T = -3o - 70o | ||
| R = 360o （连续） | ||
| 按需可提供更多载物台选件 | ||
*工作距离处的分辨率参数，取决于配置 | ||