蔡司扫描电镜Sigma系列
产品简介
详细信息
蔡司 Sigma 系列扫描电子显微镜
拥有高品质成像和分析功能的场发射扫描电镜
蔡司 Sigma 系列是拥有高品质成像和分析功能的场发射扫描电镜。它收益于久经考验的Gemini 电子光学技术。Sigma 可以配备多种探测器，可以满足不同的应用需求：颗粒物，表面构型及纳米结构等样品的成像。利用 Sigma直观的 4 步工作流程，可以使得日常所需的成像和分析的效率得到提高。
久经考验的Gemini镜筒设计
1. Sigma系列产品是基于Gemini技术开发的。
2. Gemini物镜的设计结合了静电场与磁场的用作， 使其电子光学性能化的同时，将电磁场对样品的影响降至，即便是磁性材料，也能轻松应对。
3. Inlens镜筒内二次电子探测器安装在电子束的正光轴上，极大地提高了样品极表面二次电子的吸收效率，从而获得更丰富的样品表面形貌信息。
4. 实现了超低电压下的不导电样品的高分辨成像。
灵活的探测手段获取高分辨率的图像
1. 使用探测器技术描绘您的所有样本。
2. 使用新型的 ETSE 二次电子探测器及用于高真空状态下的 InLens 二次电子探测器可以获得高分辨率的形貌信息。
3. VPSE 和 C2D 探测器在各种压力模式下都可以获取清晰的图像。
4. 使用环形 STEM 探测器可以获取高分辨率的传送图像。
5. 使用四通道BSD探测器和钇铝石榴石晶体探测器研究成分。
的分析系统
1. 扫描电镜与要素分析相结合： Sigma 的 EDS 几何设计能够增强分析能力，尤其是对电子束敏感的样品。
2. 可实现在之前一半的束流下得到分析数据，同时测试速度比之前快一倍。
3. 8.5mm 的工作距离和 35 度的出射角，可得到没有阴影区域的分析结果。
拥有高品质成像和分析功能的场发射扫描电镜
蔡司 Sigma 系列是拥有高品质成像和分析功能的场发射扫描电镜。它收益于久经考验的Gemini 电子光学技术。Sigma 可以配备多种探测器，可以满足不同的应用需求：颗粒物，表面构型及纳米结构等样品的成像。利用 Sigma直观的 4 步工作流程，可以使得日常所需的成像和分析的效率得到提高。
久经考验的Gemini镜筒设计
1. Sigma系列产品是基于Gemini技术开发的。
2. Gemini物镜的设计结合了静电场与磁场的用作， 使其电子光学性能化的同时，将电磁场对样品的影响降至，即便是磁性材料，也能轻松应对。
3. Inlens镜筒内二次电子探测器安装在电子束的正光轴上，极大地提高了样品极表面二次电子的吸收效率，从而获得更丰富的样品表面形貌信息。
4. 实现了超低电压下的不导电样品的高分辨成像。
灵活的探测手段获取高分辨率的图像
1. 使用探测器技术描绘您的所有样本。
2. 使用新型的 ETSE 二次电子探测器及用于高真空状态下的 InLens 二次电子探测器可以获得高分辨率的形貌信息。
3. VPSE 和 C2D 探测器在各种压力模式下都可以获取清晰的图像。
4. 使用环形 STEM 探测器可以获取高分辨率的传送图像。
5. 使用四通道BSD探测器和钇铝石榴石晶体探测器研究成分。
的分析系统
1. 扫描电镜与要素分析相结合： Sigma 的 EDS 几何设计能够增强分析能力，尤其是对电子束敏感的样品。
2. 可实现在之前一半的束流下得到分析数据，同时测试速度比之前快一倍。
3. 8.5mm 的工作距离和 35 度的出射角，可得到没有阴影区域的分析结果。
| 主要技术参数 | |||
| 蔡司Sigma 300 | 蔡司Sigma 500 | ||
| 电子枪 | 肖特基场发射 | 肖特基场发射 | |
| 15kV 对应分辨率 | 1.0 nm | 0.8 nm | |
| 1kV 对应分辨率 | 1.6 nm | 1.4 nm | |
| 背散射电子探测器类型 | HD BSD | HD BSD | |
| 扫描速度 | 50 ns/pixel | 50 ns/pixel | |
| 加速电压 | 0.02 – 30 kV | 0.02 – 30 kV | |
| 放大倍率 | 10× – 1,000,000× | 10× – 1,000,000× | |
| 探针束流 | 3pA-20nA（选 20nA ） 6pA-100nA（选 100nA） | 3pA-20nA（选 20nA ） 6pA-100nA（选 100nA） | |
| 图像存储分辨率 | 32 k × 24 k pixels | 32 k × 24k pixels | |
| 接口 | 12 | 12 | |
| 能谱接口 | 2（1 个 EDS 专用及诶口） | 3（2 个 EDS 专用及诶口） | |
真空模式 | |||
| 高真空模式 | Yes | Yes | |
| 可变压模式 | 2 – 133 Pa | 2 – 133 Pa | |
| 样品台种类 | 全电动5轴样品台 | 全电动5轴优中心样品台 | 可选配全电动5轴样品台 |
| X 方向移动范围 | 125mm | 130mm | 125mm |
| Y 方向移动范围 | 125mm | 130mm | 125mm |
| Z 方向移动范围 | 50mm | 50mm | 50mm |
| 倾斜范围 | -10 to +90 degrees | -3 to +70 degrees | -10 to +90 degrees |
| 旋转范围 | 360° Continuous | 360° Continuous | 360° Continuous |