蔡司扫描电镜EVO系列
产品简介
详细信息
行业的新伙伴——
蔡司 EVO 扫描电子显微镜的品质值得信赖， 可
助工业质量保证和失效分析实验室一臂之力
在工业质量、失效分析或研究领域，由于扫描电子显微镜可提供高分辨率成像和高空间分辨率元素化学信息，所以它是金相学和失效分析应用的理想之选。
专为日常检测和分析应用而设计，蔡司EVO 拥有的操作设计理念，无论是经验丰富的显微技术人员还是不具备扫描显微镜专业知识的工程师，均可轻松上手。它能够提供出色的高质量图像，特别适合于后续检测中无法涂覆导电层的非导电零部件。
EVO 的优势在于能够无缝集成至多模式质量保证或失效分析工作流程中，半自动化重定位感兴趣区域和数据完整性解决方案使其可以实现跨系统、跨实验室甚至跨区域的应用。
此外，EVO 还是清洁度分析的工业级解决方案平台。凭借大量可选的样品室、真空系统、电子枪和分析选件，EVO 可以满足您的性价比需求。
迈入检测应用新高度——当达到光学显微镜分辨率或衬度极，EVO能助您寻求更多答案
（反射），而二次电子则可获得样品表面上的边缘衬度， 因此能够提供更详细的表面形貌信息，如金属裂缝。
高性价比——契合您的性价比需求
（LaB6）电子枪获得高达10倍的电子束亮度。多年来，蔡司不断致力于扫描电子显微镜中 LaB6 电子枪的改进，以提高 易用性和图像质量，尤其是在可变压力模式下。与样品匹配的真空环境
技术参数
蔡司 EVO 扫描电子显微镜的品质值得信赖， 可
助工业质量保证和失效分析实验室一臂之力
在工业质量、失效分析或研究领域，由于扫描电子显微镜可提供高分辨率成像和高空间分辨率元素化学信息，所以它是金相学和失效分析应用的理想之选。
专为日常检测和分析应用而设计，蔡司EVO 拥有的操作设计理念，无论是经验丰富的显微技术人员还是不具备扫描显微镜专业知识的工程师，均可轻松上手。它能够提供出色的高质量图像，特别适合于后续检测中无法涂覆导电层的非导电零部件。
EVO 的优势在于能够无缝集成至多模式质量保证或失效分析工作流程中，半自动化重定位感兴趣区域和数据完整性解决方案使其可以实现跨系统、跨实验室甚至跨区域的应用。
此外，EVO 还是清洁度分析的工业级解决方案平台。凭借大量可选的样品室、真空系统、电子枪和分析选件，EVO 可以满足您的性价比需求。
迈入检测应用新高度——当达到光学显微镜分辨率或衬度极，EVO能助您寻求更多答案
高分辨率表面形貌
二次电子（SE）成像 – 使用高达数纳米的分辨率，轻松应对几乎所有亚微米级应用。光学显微镜可获得表面衬度（反射），而二次电子则可获得样品表面上的边缘衬度， 因此能够提供更详细的表面形貌信息，如金属裂缝。
组分成像
背散射电子（BSE）成像可获得与零部件或装配件材质密度成比例的衬度。通过获取组分异质性信息可以帮助您找出材料失效或质量偏差的根本原因。高空间分辨率元素分析
在能量色散谱仪（EDS）中，通过精准聚焦的电子束与样 品之间相互作用产生的 X 射线能够获得表面元素组分信息。运用扫描电子束在感兴趣区域上得到化学元素分布。EVO 与 EDS 组合为质量检验或材料失效分析应用中的元素化学信息成像提供出色解决方案。高性价比——契合您的性价比需求
样品室规格
无论是小型组件，还是大型零部件或装配件，如传动系统或电气组件，均可从三种规格的真空样品室（EVO 10、 15 和 25）中选择成像和分析需求的一款。电子枪
选择标准热电子枪（ 发针型钨丝）， 或选用六硼化镧（LaB6）电子枪获得高达10倍的电子束亮度。多年来，蔡司不断致力于扫描电子显微镜中 LaB6 电子枪的改进，以提高 易用性和图像质量，尤其是在可变压力模式下。
与样品匹配的真空环境
为金属和其他导电零部件选择标准高真空配置，或选配可变压力（VP）模式进行非导电零部件的成像与分析，无需涂覆或制备，从而不会干扰多模式质量保证或失效分析工作流程。在可变压力模式下，也可选择品质的蔡司C2D 二次电子探测器对非导电零部件进行表面形貌成像。
技术参数
| EVO 10 | EVO 15 | EVO 25 | |
| 分辨率 | 2 nm, 3nm @ 30 kV SE with LaB6, W | ||
| 3.4 nm @ 30 kV SE VP mode with W | |||
| 6 nm, 8 nm @ 3 kV SW with LaB6 or W | |||
| 9 nm, 20 nm @ 1 kV SE with LaB6, W | |||
| 加速电压 | 0.2 to 30 kV | ||
| 探针电流 | 0.5 pA to 5 mA | ||
| 放大倍数 | < 7 – 1,000,000x | < 5 – 1,000,000x | < 5 – 1,000,000x |
| 视野大小 | 6 mm at Analytical Working Distance (AWD) | ||
| 能谱分析工作距离 | 8.5 mm AWD and 35 degree take-off angle | ||
| Optibeam 模式 | Resolution, Depth, Analysis, Field, Fisheye | ||
| 可变真空气压范围 | 10 – 400 Pa (VP option), 10 – 3000 Pa (EP option) | ||
| 可以配置的探测器 | ETSE / VPSE-G4 / C2D / C2DX HDBSD / YAG-BSD STEM / CL EDS / WDS / EBSD | ||
| 样品仓尺寸 | 310 mm (Ø) x 220 mm (h) | 365 mm (Ø) x 275 mm (h) | 420 mm (Ø) x 330 mm (h) |
| 5轴电动样品台 | X = 80 mm, Y = 100 mm, Z = 35 mm, T = - 10° to 90º, R = 360º (continuous) | X = 125 mm, Y = 125 mm, Z = 50 mm, T = -10° to 90º, R = 360º (continuous) | X = 130 mm, Y = 130 mm, Z = 50 mm, T = -10° to 90º, R = 360º (continuous) |
| 样品高度 | 100 mm | 145 mm | 210 mm |
| 图像尺寸 | Up to 32k x 24k pixels | ||