蔡司扫描电镜 场发射扫描电镜SIGMA300 SEM扫描电镜 扫描电镜
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蔡司扫描电镜 场发射扫描电镜SIGMA300 SEM扫描电镜 核心技术
蔡司公司推出Sigma300场发射扫描电镜采用成熟的GEMINI光学系统设计，将低电压成像技术发挥到了极限，采用适宜的探针电流范围，降低50%的信噪比从而提升了85%的衬度信息。Sigma300将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，多种探测器可选：用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma自动的四步工作流程大大节省了设置与分析操作的时间，提高效率。
蔡司场发射扫描电镜SIGMA 500产品应用
扫描电镜广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
蔡司场发射扫描电镜SIGMA 300技术参数
| 分辨率 | 1.0nm @30kV STEM、1.0nm @15 kV、1.8nm @1kV |
| 放大倍数 | 10-1,000,000× |
| 加速电压 | 调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现） |
| 探针电流 | 3pA~20nA（100nA选配）稳定性优于0.2%/h |
| 低真空范围 | 2-133Pa（Sigma 500VP可用） |
| 样品室 | 358mm（Φ），270.5mm（h） |
| 样品台 | 5轴优中心全自动、X=130mm、Y=130mm、Z=50mm、T=﹣4°－70°、R=360° |
| 系统控制 | 基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制 |
| 存储分辨率 | 32k×24k pixels |
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R & D AND DESIGN
公司依托南京普渃斯派生态环境研究院平台。
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