AFM-O光学原子力显微镜,具备光学和原子力成像功能
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AFM-O光学原子力显微镜一体机产品特点
- 光学显微镜和原子力显微镜一体式设计,光电控制一体化;
- 同时具备光学和原子力显微镜成像功能,两者可同时扫描成像,互不影响;
- 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能;
- 采用了垂直光路设计,配合气液两用型探针架可同时在空气或液体中使用;
- 利用了高倍光学定位系统,实现探针和样品扫描区域精确定位;
- 简易的激光光斑调节方式,可通过光学CCD窗口实时观测及调节光斑;
- 单轴驱动样品自动垂直接近探针,准确定位扫描区域,使针尖垂直于样品扫描;
- 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品;
- 配备气动式减震台,抗干扰能力强,不影响仪器使用操作;
- 集成扫描器硬件非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%。
应用范围
技术参数
原子力工作模式 | 接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力,可选配液体模式 |
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原子力扫描范围 | XY向20um,Z向2um(可选配XY向50um,Z向5um) |
样品尺寸 | Φ≤90mm,H≤20mm |
扫描分辨率 | XY向0.2nm,Z向0.05nm |
样品移动范围 | 0~20mm |
光学物镜 | 5X,10X,20X,50X平场复消色差 |
光学目镜 | 10X |
CCD传感器 | 300万像素 |
显示屏 | 11.6寸平板显示器,带测量功能 |
光学调焦方式 | 电动调焦 |
扫描速率 | 扫描速率0.6Hz~4.34Hz,扫描角度0~360° |
扫描控制 | XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A |
数据采样 | 14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样 |
反馈方式 | DSP数字反馈 |
反馈采样速率 | 64.0KHz |
通信接口 | USB2.0/3.0 |
运行环境 | WindowsXP/7/8/10操作系统 |