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CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

CV-4500S8

CV-4500H8

CV-4500W8

测量范围

X 轴

100mm

200mm

Z1 轴(检出器)

60mm (水平位置±30mm)

Z2 轴 (立柱) 移动范围

300mm

500mm

300mm

500mm

Z1 轴(检出器)

光栅尺类型

弧形

分辨力

CV-3200 系列: 0.04μm, CV-4500 系列: 0.02μm

测针上/ 下运作

弧形移动

测量方向

向前/ 向后

测针方向

CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下单独测量)

CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根据配重调整)

测力

CV-3200 系列: 30mN (上下可连续测量)

CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根据软件转换)

跟踪角度

向上: 77o, 向下: 83o(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针*1)

驱动部

长度基准

X 轴

激光全息光栅尺

Z2 轴 (立柱)

ABS 光栅尺

分辨力

X 轴

0.05 μm

Z2 轴 (立柱)

1 μm

驱动速度

X 轴

0 - 80mm/s 外加手动

Z2 轴 (立柱)

0 - 30mm/s 外加手动

测量速度

X 轴

0.02 - 5mm/s

直线度*2

X 轴

0.8μm/100mm

2μm/200mm

倾角范围

X 轴

±45°

精度(20oC)

CV-3200 系列

X 轴

±(0.8+0.01L)μmL = 驱动长度 (mm)

±(0.8+0.02L)μmL = 驱动长度 (mm)

宽范围:1.8μm/100mm

宽范围:4.8μm/200mm

窄范围:1.05μm/25mm

窄范围:1.3μm/25mm

Z1 轴(检出器)

±(1.6+|2H|/100)μm H = 水平位置上的测量高度 (mm)

CV-4500 系列

X 轴

±(0.8+0.01L)μmL = 驱动长度 (mm)

±(0.8+0.02L)μmL = 驱动长度 (mm)

宽范围:1.8μm/100mm

宽范围:4.8μm/200mm

窄范围:1.05μm/25mm

窄范围:1.3μm/25mm

Z1 轴(检出器)

±(0.8+|2H|/100)μm H = 水平位置上的测量高度 (mm)

外形尺寸 (W×D×H)

主机*3

756×482x966mm

756×482x1166mm

1156×482x1176mm

766×482x966mm

766×482x1166mm

1166×482x1176mm

重量

主机

140kg

150kg

220kg

140kg

150kg

220kg