仪器网

登录

测量/计量仪器表面测量仪器轮廓仪

粗糙度轮廓仪i60/i120/i200系列

供应商:
青岛卓研测量仪器有限公司
企业类型:
其他

产品简介

FormTalysurf电感式系统特点:1mm垂直量程/16nm分辨率◆提供精密金属成形和其他应用的形状(轮廓)以及表面粗糙度测量功能

详细信息

Form Talysurf 电感式系统特点:

1mm 垂直量程/16nm 分辨率

◆提供精密金属成形和其他应用的形状(轮廓)以及表面粗糙度测量功能。
200mm
水平驱动

◆应用于电感式系统,以提供增强的测量量程。也可以标准 60mm 120mm 版本。60mm版本允许7x8mm的取样长度使测量符合 ISO4288

0.50um/120mm 直线度误差
◆适用于轮廓测量。可选的基准校正包。
0.125um
横向数据间隔
◆能够测量小型组件和特征。缩短了启动长度和停止长度;进一步提高了可用性。
450mm
机动立柱

◆当无法测量到零部件的特征时,机动倾斜版本可用于提供应用灵活性。

功能:

Form Talysurf电感式系统包括测量表面粗糙度的重要内容。包括基本粗糙度和波纹度参数,以及形状误差分析、特征去除、缩放工具和车间应用的可编程性。

形状分析
◆测量并计算半径、角度(斜度)和尺寸
用户界面
◆结合系统可编程性,提供正确的车间解决方案;可根据用户要 求定制。
双轮廓分析
◆允许比较测量以确定磨损、公差等。
Ultra
轮廓分析
◆用于尺寸应用的单独软件实用程序,可以直接比较设计数据和测量值,并获得误差结果。还可为应用提供其他硬件。
Talymap 3D
分析
◆用于形貌应用的单独软件实用程序;还需要其他硬件。
技术参数:

水平性能

Form Talysurf i60

Form Talysurf i120

Form Talysurf i200

驱动长度- X 

60mm / 0.1mm

120mm / 0.1mm

200mm / 0.1mm

驱动/测量速度

10mm/s -- 0.1mm/s, 0.25mm/s, 0.5mm/s 1mm/s

X方向的数据取样间隔

0.125μm [ 0.1mm120mm长度]

直线度不确定度(Pt)

0.5μm / 60mm

0.5μm / 120mm

0.75μm / 200mm

直线度重复性 (PV)

0.15μm

0.15μm

0.2μm

垂直性能

标称测量量程(Z

量程1=1mm,量程2= 0.2mm

分辨率(Z)

量程1=16nm,量程2=3.2nm

量程与分辨率的比率

65,536 : 1

测针臂长度,针尖半径,测力

60mm, 2μm半径锥球形金刚石, 1mN测力

Z轴非线性

(0.05 Z [mm] ) μm (50 Z [英寸] )微英寸(Z =传感器位移)

Z轴示值重复性

平面- 0.05μm,曲面- 0.05μm

系统性能

球形标准器

12.5mm (0.49英寸)标称半径标准器

标定Pt

0.25μm

系统噪音- Rq

量程1=15nm,量程2=8nm

半径测量不确定度

0.1 - 22mm= 标准值的1%0.015%22 - 1000mm= 标准值的0.02%0.1%

倾角测量不确定度

0.5 弧分的不确定度(+ / - 35°的量程)

尺寸L x D x H (花岗岩基座)

760x500x120mm

机动立柱

450mm (17.7英寸)垂直驱动


*产品信息仅供参考,型号和技术参数生产厂家有可能随时更改

在线询价