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旋转工作台

旋转精度

径向

(0.02+6H/10000)μm H: 为测量高度 (mm)

(JIS B 7451-1997)

轴向

(0.02+6X/10000)μm X: 到旋转工作台轴的距离 (mm)

旋转速度

4, 6, 10rpm

工作台有效直径

Φ150mm

调心 /调水平范围

D.A.T.

调心范围

±3mm

调水平范围

±1o

台面承重

25kg

测量直径

Φ280mm

工件直径

Φ560mm

垂直轴移动

驱动直线度 (λc2.5)

窄范围: 0.20μm/100mm, 宽范围: 0.30/300mm

与转台轴平行度 (母线要素基准)

1.5μm/300mm

定位速度

小于5mm/s (测量时: 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 mm/s)

垂直行程

300mm

检测高度

300mm*1

检测深度 (使用标准测杆时)

Φ32×91mm (深度),Φ7×50mm (深度)

X轴

直线度 (λc2.5)

2.7μm/140mm

与转台轴垂直度 (母线要素基准)

1.6 μm/140mm

移动范围

165mm (–25mm - +140mm 转台中心)

移动速度

小于8mm/s (测量时: 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 mm/s)

检出器

测力

10 - 50mN, 1 - 5级

标准测杆, 材质

Φ1.6mm硬质合金

范围

标准

±400μm/±40μm/±4μm

追踪

±5mm

其他

内/外径测量简单触切换，Z轴碰撞检测功能， 测头角度刻度标记 (±45o)

其他

电源

100-240VAC

功耗

80W (除PC和打印机)

气压

0.39MPa

空气消耗量

22L/min 标准状态 (80L/min 以上气源)

主机重量

170kg