测量显微镜 MS
产品简介
详细信息
结合金相显微镜的高倍观察能力，与影像测量仪的X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能，具备明暗场、微分干涉、金相、偏光等多种观察功能。广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、、汽车行业、计量行业等
型号 | MS |
放大倍率 | 50X、100X、200X、500X |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统（半复消色差） |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm，视度可调 |
物镜 | 长工作距平场消色差金相物镜（5X、10X） 超长工作距平场半复消色差金相物镜（20X） 长工作距半复消色差金相物镜（50X） |
观察筒 | 30°倾斜，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节:50--76mm，两档分光比100/0 或0/100 |
转换器 | 内定位五孔转换器，带DIC 插槽 |
工作台 | 测量显微镜主体：带Z 轴测量模块（Z 轴行程175mm）电动控制，带手动测量平台（XY行程：200×100mm，带数显器，带电动调焦控制盒，带5WLED 透射照明（绿色）；样品高度150mm； 测量精度：X、Y：（2+L/200)μm，L 为测量长度（单位 mm） Z：（3+L/200)μm |
照明系统 | 明暗场反射照明器，带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽，带5WLED 灯源，亮度可调（含托架适配器） |
辅助对焦模块，带对焦分划板两档，带绿光5WLED 灯源组（含100V-240V 宽电压，5WLED 控制器） | |
偏光装置 | 起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板 |
摄像附件 | 0.5X摄像接筒，C 型接口，可调焦 |
相机软件 | USB数字相机；MS专用测量软件 |