日立SU3800钨灯丝扫描电镜
产品简介
详细信息
主要特点：
- HexBias偏压钨灯丝电子枪；
- 优异的高、低电压性能；
- 高灵敏度五分割背散射电子探测器；
- 可变压力二次电子探测器（高、低真空可用）；
- 全新的操作界面和光镜导航功能；
- 全自动灯丝设定和合轴；
- 报告导出和图片处理；
- 可集成的EDS；
- 简单方便的维护（灯丝更换视频）；
应用领域： 材料科学、生命医学、食品卫生、半导体电子元器件、汽车制造等。
主要参数：
| 电子枪 | 预对中钨灯丝 |
| 加速电压 | 0.3kV – 30kV |
| 分辨率 | 3.0nm@30kV (SE) |
| 15.0nm@1kV (SE) | |
| 4.0nm@30kV (BSE, LV) | |
| 放大倍率 | 5x – 300,000x（底片倍率） |
| 7x – 800,000x（显示器倍率） | |
| 探测器 | 二次电子探测器，高灵敏度无分割背散射电子探测器 |
| 可变压力探测器UVD 2.0* | |
| 低真空可变压力范围 | 6 – 650Pa |
| 样品台（三轴马达） | X: 0 - 100 mm |
| Y: 0 – 40 mm | |
| Z: 5 – 65 mm | |
| R: 0 – 360° | |
| T: -20° - +90° |