Park NX-Wafer
产品简介
详细信息
为在线晶圆厂计量提供高生产率和强大特性
高吞吐量晶圆厂检测和分析
沟设槽备宽前度端、模深块度（E和F角EM度）测用量于的自自动动晶数圆据传采送集和分析
精确的亚埃级表面粗糙度控制
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全自动化高吞吐量缺陷成像
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详情：
Park AFM NX-Wafer Brochure-中文.pdf