LFT1200C 450D254 大口径高温高压芯片退火管式炉
产品简介
详细信息
大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸（最大尺寸为8英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，保温性能好，电阻丝为内嵌式一体成型，美观、节能；该设备还集成了真空以及供气系统，满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管，满足高温工作条件，也能满足真空或者一定的正压条件实验要求，是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。
设备型号：LFT1200C450D254
额定电压：380V
额定功率：13KW
最高温度：1000℃
额定温度：900℃
升温速率：10℃/min
热电偶类型：K型热电偶
控温精度:±1℃
极限真空度（选件）:1.0×10-3Pa（机械泵+分子泵）
加热元件：OCr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金）
炉管尺寸（可根据客户要求订制）：内径245*600mm（含管堵）
外型尺寸（长×深×高):1900*700*2100mm
