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LEXT OLS4100

LEXT OLS4100是一款激光扫描显微镜，通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。zui高分辨率达10nm，可以方便快捷地获取影像，同时配备丰富的测量功能

主机
LSM 部分		光源、检出系统	光源：405 nm 半导体激光检出系统：光电倍增管
		总倍率	108x ～ 17,280x
		变焦	光学变焦1x ～ 8x
测量	平面测量	重复性	00x: 3σn-1=0.02 µm
	平面测量	正确性	测量值的±2%以内
	高度测量	方式	物镜转换器上下驱动方式
		行程	10 mm
		内置比例尺	0.8 nm
		移动分辨率	10 nm
		显示分辨率	1 nm
		重复性	50x: σn-1=0.012 μm
		正确性	0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝测量长度μm）
彩色观察部分		光源、检查系统	光源：白色LED，检查系统：1/1.8 英寸200 万像素单片CCD
彩色观察部分		变焦	数码变焦1x ～ 8x
物镜转换器			6 孔电动物镜转换器
微分干涉单元			微分干涉滑片：U-DICR，内置偏振光片单元
物镜			明视场平面半消色差透镜5x、10x LEXT 平面复消色差透镜20x、50x、100x
Z 对焦部分行程			100 mm
XY 载物台			100×100 mm（电动载物台），选件: 300×300 mm（电动载物台）

此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。