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光学仪器及设备电子显微镜扫描电镜(SEM)

日立FlexSEM 1000扫描电子显微镜

供应商:
中山安源仪器有限公司
企业类型:
其他

产品简介

特点紧凑型设计

详细信息


特点

紧凑型设计,分辨率为4 nm*1

通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察

操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片

新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野

大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2

规格

项目

内容

分解能*3

4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)

加速电压

0.3 kV ~ 20 kV

放大倍率

6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (显示倍率)

低真空模式

真空范围:6 ~ 100 Pa

电子枪

预对中钨灯丝

样品台

3-轴自动马达台
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°

样品尺寸

直径80 mm

样品高度

40 mm

尺寸

主机:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供电单元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm

探测器选配

· 高灵敏度低真空二次电子探测器(UVD)

· 能量分散型X线探测器(EDS)


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