仪器网

登录

光学仪器及设备电子显微镜扫描电镜(SEM)

分析型热场发射扫描电镜SU-70系列

供应商:
河南豫净科技发展有限公司
企业类型:
经销商

产品简介

仪器简介:为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求,日立开发了SU-70

详细信息

仪器简介:

  为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求,日立开发了SU-70。它采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪,为探索纳米世界打开了一扇新的大门。

主要特点:

  日立SU 70型热场发射电镜的物镜设计与以往有很大不同,它集成了的S-4800的半内透镜和ExB技术,可完成样品微观结构的高分辨观测;同时新设计的无外泄磁场观测模式能提供强大的探针电流,可以适应各种扩展分析的需求,是款集高分辨和高分析能力于一身的新型热场发射扫描电镜。



技术参数:

二次电子图象分辨率:
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
1.6nm(1KV.WD=1.5mm,
减速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

放大倍数:
低放大倍数模式 20-2,000x
高放大倍数模式 100-800,000x

电子光学:
电子枪 ZrO/W 肖特基电子枪
电流 1pA-100nA
加速电压 0.5-30KV(标准模式)
着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式)
透镜系统 3级电磁线圈系统
物镜光阑 4孔光阑,真空外选择和细调

样品台:
样品台控制 5轴马达控制
移动范围
X 0-110mm
Y 0-110mm
z 1.5-40mm
T -0.5O-+700
R 360O
样品尺寸 直径150mm(标准)
(
) 直径200mm(可选)

探测器:
二次电子探测器
背散射电子探测器(可选)
STEM
探测器(可选)
法拉第杯(可选)
X
射线能谱仪(可选)
X
射线波谱仪(可选)
EBSP
探测器(可选)
阴极荧光探测器(可选)





在线询价