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测量/计量仪器表面测量仪器轮廓仪

粗糙度轮廓一体机 Infex6362N-sdn

供应商:
宁波永汇仪器科技有限公司
企业类型:
其他

产品简介

粗糙度轮廓一体机Infex6362N-sdn特点:2一次测量实现粗糙度、波纹度、轮廓分析2实现全范围内的粗糙度、波纹度测量测量原理本仪器测量原理为直角坐标测量法

详细信息

粗糙度轮廓一体机 Infex6362N-sdn

点:

2 一次测量实现粗糙度、波纹度、轮廓分析

2 实现全范围内的粗糙度、波纹度测量

Ø 测量原理

本仪器测量原理为直角坐标测量法,即通过X轴、Z1轴传感器,测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点,通过电器组件,将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机,软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理,标注所需的工程测量项目。

Ø 测量功能

轮廓测量功能:

尺寸:包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径

夹角:包含水平角、垂直角、夹角

位置公差:包含平行度、垂直度

形状公差:包含直线度、凸度、圆弧

轮廓度辅助生成:包含辅助点、辅助线、辅助圆

 

糙度测量功能:

R参数:Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rsmin、Rsksd、Rku、Rkumax、Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△a、R△amax、R△amin、R△asd、R△q、R△qmax、R△qmin、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rλa、Rλamax、Rλamin、Rλasd、Rλq、Rλqmax、Rλqmin、Rλqsd、Rδc、Rpc、Rmr

W 参数:Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、

Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr

P参数:Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta、

Motif参数:Ncrx、R、Rx、AR、Nr、Cpm、Sr、Sar、W、Wx、Aw、Wte、Nw、Sw、Saw

 

截止波长(λc):0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm

评定长度:λcX2,3,4,5,6,7,X轴有效范围内

滤波器:高斯滤波器,圆弧滤波器,非线性滤波器,2RC滤波器

Ø 测量范围

项目

测量范围

分辨率

传感器

±7.5mm

0.02μm

驱动器

100mm

0.2μm

立柱

320mm

-

 

Ø  技术规格

技术参数

指示精度1

±(0.8+2L/100μm

直线度2

0.3μm/100mm

Z轴线性精度3

±(0.8+|0.12H|μm

粗糙度指示精度

±(8nm+3.5%)

重复性4

1δ≤2nm

残值噪声5

12nm

圆弧6

≤(1.2+R/12)μm

圆弧Pt6

≤±0.3μm

角度7

≤±1′

运动控制

X轴驱动方式

电动

Z轴驱动方式

电动

X轴驱动速度

0.05~15mm/s

Z轴驱动速度

0.2-15mm/s

注:1、L为测量长度,精度检验方法:激光干涉仪;2λc2.5mm,测量速度≤0.3mm/s,测量平晶;3H为的测量高度;4、采用Ra0.35-0.5μm的方波标准件;5λc0.08mm,测量速度为0.1mm/s,测量平晶;62mmR10mm的标准球,取样圆弧夹角为120°;760°、90°的角度块,角边取样长度为5mm8、以上参数均在20℃±2℃,阶梯温度不超过2/h和地面振动RMS50Hz  2.5μm/s  RMS50Hz   5.0μm/s的环境下测得。



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