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JSM-7100F 热场发射扫描电子显微镜

观察与分析纳米结构

纳米结构的观察

JSM-7100F 热场发射扫描电子显微镜*的高强力电子光学系统能保证1.2nm 的超高分辨率，能很容易地进行纳米结构的研究。

稳定的高精度分析

浸没式热场发射电子枪提供稳定的大探针电流，可以获得高质量的观察和分析结果。发射体保证3年。

磁性材料

JSM-7100F 热场发射扫描电子显微镜的物镜在样品周围不形成磁场，观察和分析磁性样品不受制约。

纳米结构的分析

日本电子技术“光阑角度*调节透镜” （Aperture Angle Optimizing Lens）提供很小的电子探针直径，在短时间内用大探针电流可以获得高精度的分析和高质量的元素面分布图。
各种分析附件包括 EDS、WDS和EBSD 都可以安装在理想的几何位置上。

清洁的真空

样品的交换通过样品交换气锁室进行，样品室总是保持着清洁的高真空状态。*的单动作样品交换机构，只要简单的操作就能插入和退出样品。
样品室使用分子泵抽真空。

浸没式热场发射电子枪

日本电子技术-浸没式热场发射电子枪，效率高并且能提供高达200nA的探针电流。

光阑角度*调节透镜

日本电子技术-光阑角度*调节透镜，能自动优化物镜光阑角度，在大探针电流时形成很小的探针直径。

观察

能获取各种图像：如二次电子像、背散射电子像和 STEM 像等。稳定的热场发射电子源能确保获得高质量的图像。

分析

利用EDS 和 WDS的元素分析以及EBSD分析都能够有效地进行，稳定的电子探针能够获得高精度的分析。