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飞纳台式扫描电镜 3D 粗糙度重建系统

借助 3D 粗糙度重建系统，飞纳台式扫描电镜（SEM）可以生成样品的三维图像，并进行亚微米量级的粗糙度测量。基于“阴影显形”技术，3D 成像有助于展示样品特征。

3D

飞纳台式扫描电镜 3D 粗糙度重建系统图像可以帮助用户更好的理解样品特点，使得在2D图像中很难分辨的凹坑、划痕、刻纹等特征，变得清晰可见。

粗糙度

平均粗糙度（Ra）及粗糙高度（Rz）的测量对于生产工艺的控制和改进具有重要意义。使用SEM图像作为信息收集手段，可以获得较传统（非直接）手段更佳的分辨率。

3D 粗糙度重建模块是 Phenom 的理想扩展，特别适用于下列领域：

? 机械加工的质量控制

? 纹理分析

? 证物鉴定

? 缺陷&失效分析

? 摩擦学-磨损分析

飞纳台式扫描电镜 3D 粗糙度重建系统的主要优点：

? 远优于光学或机械测量手段

· 高分辨率

· 可测量反射样品

· 直接测非破坏性

? ​创新性全自动用户界面

? 基于“阴影显形”，无需倾斜样品

? 完整解决方案

? 快速重建

? 直观的用户界面

规格参数

自动实时创建 3D 图像

· 全 3D 图像

· 2D 或 3D 图像

· 通过颜色指示高度过滤后的 3D 图像

· 基于“阴影显形”的技术，无需样品倾斜

· 快速重建

自动粗糙度测量

· Ra（平均粗糙度）和 Rz（粗糙高度）

· 用户自定义滤波参数

· 支持 5 线同时测量