日本电子场发射扫描电镜JSM-7200F
产品简介
详细信息
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产品参数
产品编号: 日本电子场发射扫描电镜JSM-7200F所属品牌: JEOL产品型号: JSM-7200F 额定功率：按实际方案提供所属类别: 扫描电镜所属用途: VDA19应用领域:产品特性: JSM-7200F的电子光学系统应用了日本电子旗舰机-JSM-7800F Prime采用的浸没式肖特基电子枪技术，标配TTLS系统（Through-The-Lens System），无论是在高/低加速电压下，空间分辨率都比传统机型有了很大的提升。此外，保证300nA的束流，能兼顾高分辨率观察和高通量分析，具有充实的自动功能和易用性，是新一代的多功能场发射扫描电镜。下载相关资料 -
日本电子场发射扫描电镜JSM-7200F
JSM-7200F的主要特点有：应用了浸没式肖特基电子枪技术的电子光学系统；
利用GB（Gentle Beam 模式）和各种检测 器在低加速电压下能进行高分辨观
察和选择信号的TTLS系统（Through-The-Lens System）；电磁场叠加的混
合式物镜。
浸没式肖特基电子枪
浸没式肖特基场发射电子枪为日本电子的技术，通过对电子枪和低像差聚光镜进行优化，能有 效利用从电子枪中发射的电子，即使电子束流很大也能获得很细的束斑。因而可以实现高通量分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析等）。
TTLS（through-the-lens系统）
TTLS（through-the-lens系统）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速电压下能进行高
分辨率观察和信号选择的系统。 利用GB（Gentle Beam 模式）通过给样品加以偏压，对入
射电子有减速、对样品中发射出的电子有加速作用，即使在低加速电压（入射电压）下，也
能获得信噪比良好的高分辨率图像。
此外，利用安装在TTLS的能 量过滤器过滤电压，可以调节二次电子的检测量。这样在极低加
速电压的条件下，用高位检测 器（UED）就可以只获取来自样品浅表面的大角度背散射电子。
因过滤电压用UED没有检测出的低能 量电子，可以用高位二次电子检测 器（USD，选配件）检
测出来，因此JSM-7200F能同时获取二次电子像和背散射电子像。
混合式物镜（电磁场叠加）
JSM-7200F的物镜采用了日本电子新开发的混合式透镜。
这种混合式透镜是组合了磁透镜和静电透镜的电磁场叠加型物镜，比传统的out-lens像差小，能获得更高的空间分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性，所以可以观察和分析磁性材料样品。