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聚对二甲苯（Poly-p-xylene），商品名帕里纶（Parylene），是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲撑苯撑结构的聚合物薄膜的统称，它有极其优良的电性能、耐热性、耐候性和化学稳定性，主要有 Parylene N（聚对二甲苯）、Parylene C（聚一氯对二甲苯）和 Parylene D（聚二氯对二甲苯）三种。它是采用真空热解气相堆积工艺制备，可制成极薄的薄膜，主要用作薄膜和涂层，用于电子元器件的电绝缘介质、保护性涂料和包封材料等。

工作原理:

将该二聚体进行高温裂解产生双自由基，再导入成膜室在成膜物体表面冷凝并迅速聚合，得到均匀致密的聚对二甲苯薄膜。

聚对二甲苯薄膜涂层特点:

聚对二甲苯薄膜无色透明,膜厚0.1μm 时仍无针孔。它的化学性能稳定 ,有优良的机/电/热和生物相容性,对气体有良好的阻挡作用,还能提高被抱覆物的耐摸性,同时是一种能防潮/防霉/防酸碱/耐辐照的高品质防护涂层。聚对二甲苯薄膜涂层的优良特性,使其在许多高科技领域具有广阔的应用前景 。

Parylene涂层在电子领域应用极其广泛,主要用于:

电路板,半导体器件,集成电路,混合微电路, 混合微电路,电容器,微型电机和铁氧体;

在光学和光电领域主要用于光学光电器件,复印技术光电感光体,激光存储和记录器件;

在生物医学领域用于人工假体,埋入式器件,血液分析器等;

在航空航天领域主要用在航空航天器上,用于绝缘保护。

Diener P30聚对二甲苯薄膜涂层系统技术参数:

parylene N, C, D, F-VT4

涂层厚度: 0.05 ~ 50 um

外形尺寸：W1400*D700*1700mm:        

裂解管功率及温度:    2 kW / max. 700 °C  

样品舱:      

直径：310mm 高度：500mm

样品台：

直径：150mm 高度：270mm  

液氮冷却

真空泵：

双极油泵

排气速度：25m3/h

极限真空度：1*10-3mbar

控制:  Windows Full PC  

400 V/16 A/50-60 Hz