德国Diener 电镜专用等离子清洗机Femto
Diener电镜专用等离子清洗机
用途：
主要用于除去透射电镜样品及样品杆上的污染，防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可以利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。特别适用于场发射扫描电镜和场发射透射电镜。用这种低能高频等离子体清洗样品表面，不会改变样品元素成份和表面结构特征。
主要技术参数：
1. 可对多孔碳膜进行高效且无破坏的清洗，提高样品在低电压下的成像能力，在化学微量分析时提高其精度
2. 无油真空系统：泵体部分由多级隔膜泵和超净音分子泵组成，在保证真空度的同时，可在两分钟之内达到抽真空和放气过程，整个清洗过程在4分钟内可以完成
3. 可清洗标准透射电镜样品杆
4. 可清洗多孔碳膜
5. 清洗时间：普通污染样品小于2分钟，重度污染样品小于10分钟
6. 重现性：可以自动记录下同类产品清洗的条件，下次清同类产品时可以样条件进行
技术规格：
| 控制方式 | 手动控制 |
| 发生器 | 40KHz,0~100W |
| 腔体材质 | 高硼硅玻璃 |
| 腔体尺寸 | Dia.90*L280mm |
| 气路 | 单路 |
| 清清时间 | 旋钮式计时器0~99hour |
| 压力控制范围 | 0~2mbar |
| 外型尺寸 | W345*D420*H211mm |
| 电源电压 | 单相AC230V，16A |
| 真空泵 | 排气速度4m3/hour,极限真空度0.5Pa |
| 选配 |
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| 发生器 | 2.45GHz和13.56MHz |
| 腔体材质 | 石英玻璃 |
| 气路 | 双路 |
| 计时器 | 数字式计时器 |
| 减压阀 | 配专用气路接口 |
| 钢瓶 | 10L
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