OTF-1200X 1200℃单温区开启式真空管式炉
产品简介
详细信息
1、双层壳体,配有循环风冷系统,壳体温度<60℃。
2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率,同时延长使用寿命。
3、采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。
4、设有超温及断偶报警功能。
5、已通过CE认证。
产品型号 | 1200℃单温区开启式真空管式炉OTF-1200X | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地。 3、气:如作为CVD系统使用,客户需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)。 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重100kg以上 5、通风装置:需要。 | ||
技术参数 | 1、电源:AC 220V 50Hz/60Hz 2.5KW 2、石英管:外径Ø50mm,内径Ø44mm,长1000mm 外径Ø60mm,内径Ø54mm,长1000mm 外径Ø80mm,内径Ø74mm,长1000mm 外径Ø100mm,内径Ø94mm,长1000mm 3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝,表面涂有氧化锆 4、加热区域:440mm 5、工作温度:最高1200℃(必须通入惰性气体以防止炉管发生形变),连续工作1100℃ 6、最大升降温速率:20℃/min 7、控温精度:±1℃ 8、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵) 9、泄漏率:<5mtorr/min | ||
产品规格 | 尺寸:590mm×380mm×520mm;重量:40kg | ||
标准配件 | 1 | 石英管 | 1根 |
2 | 不锈钢真空法兰 | 1套 | |
可选配件 | 1、铰链式法兰 2、数字真空计 3、PC控制软件 |