62xx-83xx高速激光振镜模块
产品简介
详细信息
高速激光振镜模块
Novanta公司旗下的英国Cambridge Technology利用其强大的位置检测与控制技术，出品的高速62xz系列激光振镜模块，在做到业内最快的扫描速度同时保持高度的稳定性，可以适合大部分应用的需要，而83xx系列高速激光振镜模块更进一步压制了温度漂移，更适合于要求苛刻的微加工或宽场加工场合。
共同特点：
- 业内最快的扫描速度，在保证长时间稳定性同时达成最高产率
- 高准确度输出，满足各种应用的扫描需求
- 长使用寿命和长时间稳定性
- 结构紧凑适合小空间集成
- 可装配3-50mm尺寸反射镜，丰富的高反射镀膜选项
型号 | 6200K | 6210K | 6215K | 6220K | 6230K | 6231K | 6240K | 6250K | 6260K | |
建议孔径 | 3-7 mm | 3-7 mm | 3-7 mm | 5-10 mm | 8-15 mm | 8-15 mm | 12-25 mm | 25-75mm | 30-100mm | |
波长选项 | 355nm/532 nm/1030 nm -1080 nm/9.4μm-10.6 μm ；宽谱段镀膜范围:350 nm -12 μm | |||||||||
最大扫描角度 | 40° | |||||||||
适配伺服控制器 | 模拟系列:671,672,673 ；数字系列:DC900,DC3000 Plus | |||||||||
转动惯量 (gm-cm²±10%) | 0.013 | 0.018 | 0.028 | 0.125 | 0.97 | 0.82 | 2.4 | 15.6 | 47.5 | |
扭矩常数(dynecm/amp,±10%) | 1.20x10⁴ | 2.79x10⁴ | 3.78x104 | 6.17x10⁴ | 1.31x10⁵ | 1.11x10⁵ | 2.0x10⁵ | 7.08x10⁵ | 8.5x10⁵ | |
最高转子温度 | 110℃ | |||||||||
热阻 （转子至机箱） | 3.8 ℃/W | 2.0 ℃/W | 1.0 ℃/W | 1.0 ℃/W | 0.8 ℃/W | 1.0 ℃/W | 0.62 ℃/W | 0.35℃/W | 0.2 ℃/W | |
线圈电阻 (欧姆±10%) | 2.14 | 3.7 | 2.5 | 2.79 | 1.07 | 1.27 | 1.03 | 1.69 | 0.60 | |
线圈电感(μH±10%) | 52 | 109 | 94 | 180 | 173 | 176 | 350 | 1030 | 530 | |
反 EMF 电压(μW//秒,±10%) | 20.9 | 48.7 | 66 | 108 | 229 | 195 | 346 | 1220 | 1480 | |
最大RMS电流(安培； | 2.3 | 2.4 | 4.1 | 3.9 | 7.1 | 5.8 | 8.2 | 71 | 12 | |
峰值电流(安培,最大） | 6 | 8 | 20 | 20 | 25 | 25 | 25 | 20 | 40 | |
重量 | 13.3 g | 18 g | 25.8 g | 42.5 g | 267 g | 142 g | 356 g | 590 g | 1200 g | |
位敏指标 | ||||||||||
线性度 | 最小99.9%, 在20°扫描范围内 | |||||||||
典型99.5% ，在 40°扫描范围内 | ||||||||||
短期重复度 | 8 μrad | |||||||||
输出信号（常规模式） | 155μA(±25%) 当 AGC 电流为 25 mA 时 | |||||||||
输出信号（差分模式） | 12μA/°(±5%) 当常规模式电流为155 μA时 | |||||||||
62xxK系列振镜模块与83xxK系列振镜模块的区别 | ||||||||||
最大比例漂移 | 62xxK:50 ppm/°C | 83xxK:15 ppm/℃ | ||||||||
最大零点漂移 | 62xxK:15 μrad/℃ | 83xxK:5μrad/℃ | ||||||||